化学溶液析出法による透明ZnO厚膜の作製

抄録

我々は、界面活性剤としてCTAC(セチルトリメチルアンモニウム=クロリド)を用いて、ZnOの溶液合成プロセスを行い、ZnOの特異な成長様式を見出した。本発表では、同様の溶液を用いて、不均一核生成による基板上へのZnO膜の直接合成を行うことで、透明なZnO厚膜の作製に成功した。また、得られた厚膜の配向性についても議論する。