エアロゾルデポジション法で作製したチタン酸ビスマス厚膜の誘電・強誘電特性

抄録

ビスマス層状構造強誘電体(BLSF)で代表的なチタン酸ビスマス(Bi4Ti3O12, BiT)は、高いキュリー温度(Tc)を示し、温度係数が低く、高温でも使用可能な非鉛系圧電体材料として注目されている。近年、室温で緻密なセラミック厚膜をハイ・スループットで合成できるエアロゾルデポジション(AD)法が低環境負荷のプロセス技術として注目されている。本研究では、エアロゾルデポジション(AD)法を用いてBiT厚膜を作製し、誘電・強誘電特性を評価したので報告する。