エアロゾルデポジション法の実用化

抄録

エアロゾルデポジション法（以後、ＡＤ法と記述）は、エアロゾル中に含まれるセラミックスの微粒子を基材に吹き付けることによって、セラミックスの緻密な膜を常温で形成させる製膜方法である。工業利用を前提とした研究開発を進め、大面積が可能な独自の製膜装置を開発した。ここでは、AD法の量産化に成功している半導体製造装置部品向けの耐プラズマコート部材の開発事例を中心に、AD法の特徴と今後の展開について紹介する。