プラズマ援用エアロゾルデポジション法による誘電体膜の形成

抄録

エアロゾルデポジション法で形成する誘電体膜に与えるプラズマ援用効果を明らかにすることを目的として，誘導結合型プラズマによるエネルギー援用を行いながら，エアロゾルデポジション法によるＰＺＴやＢＴなどの誘電体膜を成膜し，プラズマ発生条件に対する成膜速度，膜の微細構造および誘電特性を評価した．その結果，プラズマを援用することで通常のエアロゾルデポジション法にて成膜するよりも高速で誘電体膜が形成することを確認した．さらに，膜の微細構造および誘電特性の変化を評価し，プラズマ援用が膜形成メカニズムに与える影響について考察した結果について報告する．