Y₂O₃-HfO₂-SiO₂添加による高熱伝導性Si₃N₄セラミックスの作製

抄録

本研究では、Y₂O₃- HfO₂- SiO₂系焼結助剤を添加して高熱伝導率性Si₃N₄セラミックスを作製することを目的とした。相対密度はいずれの組成でも高い値を示し、緻密な焼結体を得ることができた。構成相は、いずれの試料でもβ- Si₃N₄とY₂O₃およびSiO₂を固溶したc- HfO₂が同定された。熱伝導率について同じY₂O₃およびSiO₂添加量で比較すると、HfO₂が大きく増加した場合に熱伝導率は低下した。また、同じHfO₂およびSiO₂添加量で比較した場合には、Y₂O₃の増加と共に熱伝導率は減少した。これらは、過剰な焼結助剤に起因した低熱伝導率相のガラス相とc- HfO₂相の増加で説明される。