水溶液を用いて成膜したCeO₂薄膜の表面形態と光学特性

抄録

本研究では、電気化学堆積法を応用し、水溶液原料を用いてのCeO₂薄膜の作製を試みた。前駆体溶液はCe(NO₃)₃に8mol%M(NO₃)₃（M=Y，Sm,Gd）を添加した組成とした。前駆体溶液中に配置した電極に電圧を印加し、電極上に配置したガラス基板上にCeO₂膜を堆積させた。印加時間を20～60min、印加電圧を2.6～3.6V、基板-電極間距離を96μmに設定して成膜を行った。成膜洗浄後、自然乾燥し更に550℃で24h熱処理を行った。異なる添加剤、印可電圧や成膜時間などの成膜条件を変化させることによっても紫外光領域から可視光領域まで吸収する膜や、特定波長の紫外光の吸収を10%～40%まで制御した膜を作製することが出来た。添加剤は表面の荒れを防ぐのに有効なだけでなく、結晶性や表面形態、光学的性質に影響を及ぼしていた。