抄録
窒化珪素(β-Si3N4)は高熱伝導率と高い絶縁性を有するため、放熱基板として利用が期待される。β-Si3N4はc軸方向に高い熱伝導率を有するが、ドクターブレードで成形されたβ-Si3N4シートでは、c軸に成長した柱状粒子がせん断応力によってシートに平行に配向する。高磁場成形では、β-Si3N4のc軸が磁場に対して垂直に配向することが報告されている。c軸方向の高い熱伝導率を利用するためには、シートの厚さ方向にc軸を配向させる必要がある。本研究では、回転高磁場成形を用いて、β-Si3N4のc軸を厚さ方向に配向させることを目的とした。焼結時での液相反応を考慮するために、成形段階では、良分散性の相と相のSi3N4混合スラリーを調製して、β-Si3N4のみのc軸を厚さ方向に配向させることとした。
