溶液自己集積プロセスによる誘電体ナノキューブ配列構造体の作製と評価

抄録

近年、サイズ効果などによる新機能の発現を示すナノクリスタルに対して関心が高まっており、形状やサイズ分布などが特性に密接に関連しているため、それらを精密に制御し、任意の構造にビルドアップすることで巨大物性等の発現が期待される。チタン酸バリウム（BT）およびチタン酸ストロンチウム（ST）を用いた人工超格子薄膜において大きな誘電特性を示すことが報告されており、ST/BTヘテロ界面による構造傾斜領域の導入のためであると考えられている。ナノクリスタルを集積させて三次元的にヘテロ界面を作製することができれば、巨大物性の発現が期待される。そこで本研究では、水熱反応により合成したBTおよびSTナノキューブを用い、溶液自己集積プロセスにより基板上へ配列構造体の作製および電気的特性の評価を行った。