レーザーCVD法により合成したYBa2Cu3O7-δ膜の微細構造

抄録

レーザーCVD法を用いてYBa₂Cu₃O_7-δ膜を合成し、その微細構造をTEMを用いて観察した。a軸配向YBCO膜は、主にa軸配向粒子からなっていたが、(100) CeO2 層との界面には、c-YBCO 相が存在していた。c軸配向YBCO膜は、ほとんどが基板と鉛直方向に成長したYBCO粒子からなっていたが、一部にc軸が傾斜したYBCO相や異相が存在が認められた。