抄録
パルスレーザー蒸着において，ターゲット由来の酸素と，チャンバー内の酸素ガス由来の酸素とを識別し，プルーム中からの酸素取り込みと，雰囲気中からの酸素取り込みの効果について，独立して検討することを企み，同位体トレーサーを用いた検討を行った．すなわち，質量数が天然存在比の酸素(natO)を含む酸化スズターゲットと用い，質量数18の酸素(18O)でエンリッチした酸素ガスを雰囲気ガスとして導入しながら製膜を行い，得られた薄膜中の同位体存在比(18O/16O)を質量分析によって求めることで，ターゲット由来と雰囲気由来の酸素の薄膜への取り込みの様子を検討した．
