単分散ポリスチレンをテンプレートに用いたセラミックス薄膜の周期構造制御

抄録

二次元周期構造を有する薄膜は物質により、表面自己洗浄材料、マイクロレンズアレイ、記録媒体、バイオセンサー、共振器アレイなどが挙げられる。本研究では、パルスレーザー堆積法 (PLD法) と単分散ポリスチレン (PS) テンプレートを用いてこのような応用の可能性を有する薄膜の作製を試みた。