反応性フレーム溶射法においてフレーム種がイットリア膜に及ぼす影響

抄録

エチレンジアミン四酢酸(EDTA)イットリウム錯体を原料としフレーム溶射装置を用いてアセチレンおよび水素の燃焼炎中での分解、酸化反応を利用した反応性フレーム溶射法により、イットリア膜を作製した。作製した膜はX線回折より、イットリア結晶を含む。水素炎を使用した反応性フレーム溶射により、スプラット構造を持つイットリア膜を得た。