酸化スズ薄膜の電気特性

抄録

二酸化スズはガスセンサー素子として広く利用されている。センサー機能の向上のためには、表面反応についてより良く理解することが重要である。そのために我々は、エピタキシャル成長により調製した単結晶様の表面を持つ薄膜を用いることで、表面反応をモデル化することを目指している。本研究では、エピタキシャル成長により作製したSnO2薄膜の抵抗に及ぼす雰囲気の効果について報告する。 (110)表面を持つSnO2では、粒子界面より粒子表面での吸着がセンサー感度を支配すると考えられた。