ナノ粒子操作用レジスト微細加工チップの作成と観察

抄録

材料自身が外部刺激に感応して様々な反応を示す材料であるスマートマテリアルの１つである温度応答性高分子としてN－イソプロピルアクリルアミド（NPIAAm）が挙げられる。本研究ではNPIAAmを用いて作製されたレジストが水を含むことによって体積が大きく変化することを利用して、電極間に粒子１個分のチャンバーを作製してセラミックス粒子を捕捉することで「液体中における粒子 の電気伝導度の評価」を試みている。本報告では光リソグラフィー法によって作製した電極上にバイオレジストを塗布、UV露光、加熱処理を施した後に電極間にマイクロビッカースにより加工した粒子捕捉用のチャンバーが水を含むことで閉じるチップの作製に成功したことについて報告する。