機能性セラミック薄膜をプラスチックス表面に作製する新しい湿式成膜技術

抄録

プラスチックス表面に各種機能性セラミック薄膜を作製するための新しい湿式プロセスを提案する。まず、Si基板上にポリイミドを成膜し、その上に、金属アルコキシドあるいは金属塩溶液をコーティング液とするスピンまたはディップコーティングにより前駆体膜を作製した。これを焼成してセラミック膜に変換し、接着剤を使用する、あるいは、セラミック膜と密着させたプラスチック基板をATR中でセラミック薄膜側から加熱することによって、プラスチック基板に転写した。この方法により、高反射率TiO₂膜、透明導電性ITO膜、配向ZnO膜、ZnOパターニング膜をプラスチック基板上に作製することができた。