日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
2012年年会講演予稿集
セッションID: 2H25
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Bénard-Marangoni 対流を利用したゾル-ゲル薄膜のマイクロパターニング
*内山 弘章萬谷 祐人幸塚 広光
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抄録
ゾル-ゲル法で作製されるコーティング膜には、しばしばマイクロオーダーの凹凸の発生が見られる。この自発的な凹凸発生の原因は、基板上の前駆溶液から溶媒が蒸発する際に生じるBénard-Marangoni対流にあることが報告されている。このパターン形成は基板上のゾル層からの溶媒の揮発により引き起こされるため、パターンのサイズおよび形状を制御するためには、コーティング時の温度の制御が必要であると考えられる。本研究では、シリコンアルコキシド溶液からディップコーティングにより作製される薄膜において、ディップコーティング時の温度が薄膜上に発生するセル状パターンの形成に与える影響について調査した。
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©  日本セラミックス協会 2012
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