抄録
基板上の薄膜の拘束焼結や焼結鍛造では、異方的な収縮がおこり、それにともない異方的な微構造形成が起こる。焼結の連続体モデルでは異方的収縮のひずみ速度は応力、粘性テンソル、焼結応力テンソルで表される。最近、微構造をもとに焼結応力と粘性テンソルの異方性を決定する方法が開発された。本研究では、拘束焼結と焼結鍛造における異方的収縮と組織形成を予測する手法を提案し、実験結果をうまく説明できることを示す。薄膜内に発生する引張応力、焼結応力、ならびに、薄膜の微構造の異方性に影響する要因についても明らかにした。
