エアロゾルデポジション法によるアルミナの成膜と表面形状評価に関する研究

抄録

本研究ではエアロゾルデポジション法によってアルミナ膜を作製し、膜の平坦性の改善のために表面粗さ解析や膜表面の粒子径状の評価を行った。作製した膜の表面粗さはガス流量が増加すると大きくなる傾向を示した。また、膜の厚みが増加すると表面粗さは約23 nmに漸近する結果となった。ITO基板上に成膜した薄膜表面の粒子径は、ガス流量が増加するに従い小さくなる傾向を示した。さらに、ガス流量の増加と共に粒子径の分布の半値幅が小さくなり、均一な粒子径を有する粒子が堆積することが分かった。