エアロゾルデポジション法におけるAl₂O₃粒子の変形エネルギーと成膜効率の関係

抄録

エアロゾルデポジション（AD）法は，室温下でセラミックス粒子を基板に衝突させ，緻密なセラミックス膜を形成する手法である。低コストでセラミックス膜を形成するためには，成膜効率を向上させ，使用するセラミックス粒子量を低減することが有効である。我々は粒子の変形能と成膜効率には相関があると考え，AD法の成膜効率向上を目的に，原料粒子の変形エネルギーと成膜効率の関係を評価した。Al₂O₃粒子を用いた場合，粒子の製法により変形エネルギーは変化し，変形エネルギーが低いほど成膜効率は高い傾向を示した。AD法の成膜効率を決定する因子は，全てが明らかではないものの，その一つとして粒子の製法に起因した変形エネルギーがあると推定できる。