非球面形状評価システム

分割測定データのつなぎ合わせ処理

抄録

近年, 光学系のコンパクト化, 高性能化を目的として多種の光学機器に非球面レンズ等の非球面光学素子が搭載されいる。当社では, 非球面レンズの評価を行ってきたが, 今回, 大口径あるいは面形状の傾斜角が大きい非球面レンズの測定評価を可能とする測定方法を開発した。本報告では, 評価の難しい非球面量の小さいレンズを評価し, その有効性を確認したので報告する。