Journal of Photopolymer Science and Technology
Online ISSN : 1349-6336
Print ISSN : 0914-9244
ISSN-L : 0914-9244
Analysis on Deterioration Mechanism of Release Layer in Nanoimprint Process
Yasuhiko Tada, Hiroshi Yoshida, Akihiro Miyauchi
著者情報
キーワード: nanoimrint, release layer, deterioration mechanism
ジャーナル フリー

2007 年 20 巻 4 号 p. 545-548

詳細
PDFをダウンロード (279K)
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
記事の1ページ目
著者関連情報
© 2007 The Society of Photopolymer Science and Technology (SPST)
前の記事 次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
このページを共有する
feedback
 Top