Journal of Photopolymer Science and Technology
Online ISSN : 1349-6336
Print ISSN : 0914-9244
ISSN-L : 0914-9244
Sub-100nm Lithography with Using Pulsed Plasma Graft- polymerized Styrene and E-Beam Excited Plasma
Shinzo MoritaShinji OgawaTomoya YamadaRyoichi Inanami
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1997 年 10 巻 4 号 p. 657-660

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© The Technical Association of Photopolymers, Japan
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