Journal of Photopolymer Science and Technology
Online ISSN : 1349-6336
Print ISSN : 0914-9244
ISSN-L : 0914-9244
RF Plasma CVD of C-S Compound under Hydrogen Dilution
Abul Kashem, Masaki Matsushita, Shinzo Morita
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キーワード: PF Plasma CVD, C-S Compound, Methane, SF6, Hydrogen Dilution
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2000 年 13 巻 1 号 p. 47-49

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