精密水準器校正の自動化を実現する汎用型全自動精密傾斜校正システムの開発

抄録

半導体製造や精密加工分野では，高精度な加工や測定を実現するため，精密水準器の定期的な校正が不可欠である。しかし，校正作業は依然として熟練者による手作業で実施されており，多くの時間と労力を要することが課題となっている。また，精密水準器の校正を自動化する実用的な校正装置は国内に前例がなく，装置自体の校正方法も確立されていない。本研究では，精密水準器の校正工程を自動化し，校正時間の短縮および省力化を実現する日本初の汎用型全自動精密傾斜校正システムを開発した。さらに，レーザー干渉計を基準とした校正方法を構築し，多様な精密水準器に適用可能な汎用的校正システムの実現を目指した。レーザー干渉計を用いた評価により校正方法を確立するとともに，JQA校正済み精密水準器との比較評価により校正結果の妥当性を確認した。また，他社製精密水準器にも適用可能であることを確認し，本システムの汎用性を実証した。その結果，従来約3.5時間を要していた校正作業を約0.5時間に短縮し，約86％の時間削減を実現した。さらに，本システムは製品化および社会実装を達成し，精密計測分野における品質保証の高度化と生産性向上に貢献した。