小型自走機械群による超精密生産機械システム

（第69報） XYθ型位置機構の円弧動作の自動補正システム

抄録

我々の研究グループでは、圧電素子と電磁石で構成され、尺取り虫の原理で連続微動する精密微動機構（小型自走機械）を複数用いた卓上型の複合微細作業システムについて検討している。前報までに、従来型を改良したXYθの三自由度を独立に動作可能なXYθ型小型自走機械について、その並進移動やツール先端を中心とした円弧状の動作の動作性能ついて報告してきた。さらに画像解析装置を用いた動作性能の自動補正システムについても検討を行い、実際に並進移動時の実験結果を報告した。本報では、この自動補正システムをツールの先端を回転中心とした円弧動作についても適用し、実際に実験を行って、有効性を確かめたので報告する。