精密工学会学術講演会講演論文集
2002年度精密工学会秋季大会
セッションID: C51
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マイクロメカニズム(2)
小型自走機械群による超精密生産機械システム
第68報 XYθ型小型自走機械用マニピュレータの開発
*庄司 裕一渕脇 大海青山 尚之
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抄録
我々の研究グループでは,これまでに単一機能を有する小型自走機械の開発とこれらを複数台もちいた協調精密作業に関する研究を進めてきた.本研究では,この小型自走機械にツールを搭載し,顕微鏡下で微細作業を行うことを目標としている.前報までに,従来型自走機械の機構を改良したXYθに三自由度独立に動作可能なXYθ型小型自走機械の開発,移動性能,ツール先端を中心とした円弧動作の動作性能ついて報告してきた.本報では,顕微鏡下で微細作業を行うためのXYθ型小型自走機械用マニピュレータを開発し,実験を行い有効性について報告する.
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© 2002 公益社団法人 精密工学会
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