抄録
三次元測定機等の精密測定機の空間走査機構は，空間走査機構の各軸毎にモータ，送り機構，走査機構より構成され，これら各要素間が比較的低い剛性により結合されている．この空間走査機構に対して，所望の経路制御を行うためには制振性と外乱抑圧性を同時に実現する制御法の開発が課題となる.一方，通常行われる電流，速度，位置の3重ループにPI補償を施す制御法では，これらの課題を同時に解決することができない.これに対して，複数振動モードに対応した相対次数ゼロの補償要素を備えた負荷速度ループを付加することにより，多慣性負荷に対しても制振性と外乱抑圧性を同時に実現する制御法を開発したので，この内容について報告する.
