抄録
近年のめざましい技術の進歩に伴い，機械部品には高精度なものが要求されている。そのなかで，ポリマー材料は多種多様な機能を有することから，高密度メモリの材料として，また，マイクロデバイス用の部品として期待されており，ポリマーのナノスケール加工法の開発は非常に重要になってきている。本発表ではポリマーのナノスケール加工に関して，感光ポリマーを使用した有機感光薄膜について、金属コートしたAFM探針にレーザを照射したときに生じる電場増強効果を利用したナノメートルスケールの高分解能な加工法とその加工特性について述べる。
