抄録
アルミニウム合金の加工では凝着の問題がある。凝着物が剥離するときに切れ刃にチッピングを引き起こし、工具寿命、加工面精度が悪くなる。そこで、アルミニウム合金加工の凝着の問題に対し、摩擦係数が小さく、耐凝着性に優れているDLC皮膜を開発した。DLC皮膜はプラズマCVDおよびマグネトロンスパッタ法により成膜した。DLC皮膜は単層では密着性に乏しいため、種々の中間層を形成し密着性を向上させた。これらの中間層を形成したDLCコーティング工具により、アルミニウム合金のドライ加工を行い、アルミニウム合金加工におけるDLC皮膜および中間層の効果を検討した。