ナノメータ位置決め装置の熱変形ドリフト

抄録

各種ナノテクノロジーの中で、測定や位置決めに1nmの分解能や精度が要求されようとしている。昨年開発された位置決め装置は、1nm分解能の位置決めを達成しているが、長時間使用するとステッピングモータの熱等により、熱変形ドリフトを生じる。本研究では、ステップ応答を長時間繰り返した時の熱変形ドリフトを測定し、更にこの熱変形ドリフトによるステージの誤差の減少法について検証を行った。