精密工学会学術講演会講演論文集
2002年度精密工学会秋季大会
セッションID: F76
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精密・超精密位置決め(3)
ランド可動型高剛性静圧軸受の動特性
中島 克洋高藤 和樹*福山 弘
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抄録
静圧軸受の軸受剛性を高めるために提案した,ランド可動型高剛性静圧軸受に発生する自励振動について検討した.自励振動は軸受寸法と作動条件で決まる無次元数Mがある値を超えると無次元負荷We=0.5を中心にした範囲の負荷で発生した.発生する負荷範囲はMが増すと拡大する.ランドを支持する弾性体の剛性が小さい,また軸受への供給油の粘度が高いと振動を発生するM値は大きくなり,振動発生範囲は狭まった.適切な弾性体の剛性と作動油粘度を選定することによって,軸受剛性を最も高くすることができるM=1.2のもとで自励振動を発生することなく作動させることができる.
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© 2002 公益社団法人 精密工学会
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