直動平面型変位拡大機構の開発

抄録

　本研究では，圧電素子と，弾性ヒンジを用いた機械式変位拡大機構を組み合わせることにより，直動型のアクチュエータを開発した．変位拡大を2段階にして小型化し，対称に組み合わせることで直動を実現する機構とした．設計においては，変位，出力，応力を有限要素法により解析し，所定の変位において出力が最大化されるように最適化設計を行った．その結果，製作した機構は変位拡大率8.7倍，60Vにおいて変位58μm，出力30Nという良好な実験結果が得られた．