超音波振動により励起されるスクイーズ空気膜を用いた非接触回転駆動機構

抄録

現在、精密な測定の分野において超精密·非接触への要求が高まっており、被測定物を移動させる駆動機構の精度向上が重要である。そこで本研究ではスクイーズ空気軸受に着目し、それを改良することにより、軸を精密に回転させることを目的としている。駆動原理は、円筒型振動子を超音波領域で高周波振動させ、それによって発生するスクイーズ空気膜の粘性を用いて軸を非接触支持し、その振動を、円筒の周方向に進行する進行波にすることにより粘性進行波が発生して、軸を回転させる。それにより高精度かつ完全非接触な回転軸系を構築することができる。