精密工学会学術講演会講演論文集
2002年度精密工学会秋季大会
セッションID: H67
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マイクロ・ナノマシンの力学的挙動とその応用
原子間力顕微鏡による固体表面像の分子動力学解析
プローブ先端形状による影響
*清水 淳周 立波江田 弘
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抄録
カンチレバの剛性を考慮した3次元モデルを用い,原子間力顕微鏡ないし摩擦力顕微鏡による固体表面像の観察過程の分子動力学シミュレーションを行なった.本報では,プローブの先端形状が固体表面像および摩擦挙動にどのような影響を及ぼすか検討したので報告する.
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© 2002 公益社団法人 精密工学会
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