精密工学会学術講演会講演論文集
2002年度精密工学会秋季大会
セッションID: H68
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マイクロ・ナノマシンの力学的挙動とその応用
走査型プローブ顕微鏡のフォースモジュレーション法による高分子の粘弾性特性評価
*田中 芳雄平井 ヨシヒコ山内 啓司
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キーワード: 粘弾性, SPM
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抄録
走査型プローブ顕微鏡を用いたフォースモジュレーション法によって高分子材料の粘弾性を評価するための方法をカンチレバーの振動解析によって行う。
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© 2002 公益社団法人 精密工学会
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