静電駆動マイクロカンチレバーのたわみ変位，たわみ速度制御

制御器の遅れ特性を考慮した場合

抄録

マイクロカンチレバーに発生する引き込み現象を回避して，大きなたわみを得るとともにそのような大きなたわみでも一定速度でたわませることができる制御を行う．このために，最適レギュレータを用いたフィードバック制御を採用する．このさい，制御器の時間遅れなども考慮する．