精密工学会学術講演会講演論文集
2002年度精密工学会秋季大会
セッションID: I01
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曲面・微細形状の超精密加工と計測技術(1)
マイクロレンズアレイ成形型の超精密加工
*鈴木 浩文
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抄録
 マイクロレンズアレイは個々の軸対称非球面レンズが多数集められたレンズで,それぞれのレンズの位置決め精度が重要になる.従来は,単体の非球面レンズ型を多数を組み合わせて型組し,量産されていた.この従来法ではそれぞれのレンズ位置に1~2μmの誤差が生じている.そこで,1つの型の中で複数のレンズを加工できる研削方法を考案し,開発したので報告する.ここでは,45度に傾けたマイクロダイヤモンド砥石を用い,型を(X,Y,Z,C)の同時軸制御することにより,創成するもので,型の位置は0.1μmの誤差内に収まる.
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© 2002 公益社団法人 精密工学会
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