高精度自由曲面加工法の開発（3） 加工アルゴリズムの課題に対する一提案

佐竹 賢亮; 根岸 真人; 安藤 学; 斎藤 憲久

doi:10.11522/pscjspe.2002A.0.415.0

2002年度精密工学会秋季大会

セッションID: I06

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2002A.0.415.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

曲面・微細形状の超精密加工と計測技術（2）

高精度自由曲面加工法の開発（3）

加工アルゴリズムの課題に対する一提案

*佐竹賢亮, 根岸真人, 安藤学, 斎藤憲久

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キーワード: 自由曲面, 研磨, 滞留時間制御

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抄録

ローカル研磨において，計算上予想される加工後の形状誤差形状（予想残差形状）が0.1nm RMS以下を目標とした場合の滞留時間分布演算方法の問題点を示し，解決策の方向性を提案する．1.急峻な形状変化を持つ誤差形状に対する滞留時間分布計算時の予想残差形状評価2.現在の滞留時間演算方法（FFTを用いる方法，除去シミュレーションを用いる方法）の問題点を明確化3.除去シミュレーションを用いる方法の改良による解決策の提案4.実用性評価

責任著者(Corresponding author)

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