精密工学会学術講演会講演論文集
2002年度精密工学会秋季大会
セッションID: I04
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主催: 社団法人精密工学会

曲面・微細形状の超精密加工と計測技術（1）
高精度自由曲面加工法の開発（2）
研磨加工の空間分解能
*野中 義史, 安藤 学, 嶋崎 忠弘, 森山 祐二, 斎藤 憲久
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キーワード: 自由曲面, 研磨, 分解能
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抄録
自由曲面の高精度加工には部分修正研磨加工が使われる．このとき，修正対象の形状が持つ空間周波数成分に対して十分な空間分可能を有する加工方法が必要とされる．ここでは，研磨工具の寸法，運動による空間分解能の選択性を吟味し，研磨工具の持つ空間分解能並びに実用性を評価した結果を報告する．
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© 2002 公益社団法人　精密工学会
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