精密工学会学術講演会講演論文集
2002年度精密工学会秋季大会
セッションID: I08
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曲面・微細形状の超精密加工と計測技術(2)
非球面研削における研削面粗さに関する研究
*吉原 信人厨川 常元佐伯 優庄司 克雄
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キーワード: 非球面研削, 研削面粗さ
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抄録
近年,工作機械の精度向上および補正研削技術の進展に伴い形状精度100nm以下の非球面を創成することが可能となっている.しかし実際に非球面レンズあるいは金型を製造することを考えたとき,形状精度ばかりではなく研削面粗さに関しても考慮する必要がある.研削面粗さに影響を与えるパラメータとして工作物送り速度,砥石周速度,砥石送り速度等が考えられる.また研削方向と工作物送り方向が平行となるパラレル研削にするか,直角となるクロス研削にするかによっても研削面粗さは異なってくると考えられる.そこで本研究においてこれらのパラメータと研削面粗さの関係を理論計算と実験を通して明らかとし,最適な条件を探った.
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© 2002 公益社団法人 精密工学会
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