超硬製マイクロ非球面金型の電気粘性流体援用研磨

抄録

近年の光通信技術の進展により，非球面レンズなどの光学部品をはじめとしてあらゆる部品の小型化が要求されており，マイクロ非球面レンズを成形するための金型の研削加工法が検討されている．微小径砥石による研削加工法の場合は有効切れ刃数が少なくなってしまうために充分な表面粗さが得られない．したがって仕上げとして研磨加工を必要とする．そこで本研究では，工作物が導電体である場合の電気粘性流体援用研磨加工において，砥粒の挙動，研磨特性について検討した．