5軸制御によるホログラム光学素子の加工

抄録

5軸制御が可能な超精密加工装置により真空紫外光の分光を目的としたホログラフィックグレーティングを加工した実例について報告する。グレーティングの設計と加工可能性のトレードオフ、加工パスの設計、工具位置合わせ、加工結果などについて報告する。