テーブルトップ超精密4軸加工機の開発 第4報：単結晶ダイヤモンドツールを使用した微細形状加工の試みその2

上原 嘉宏; 大森 整; 山形 豊; 守安 精; 林 偉民; 潘 燕; 佐々木 哲夫; 石川 惣一; 浅見 宗明; 三浦 隆寛

doi:10.11522/pscjspe.2002A.0.422.0

2002年度精密工学会秋季大会

セッションID: I15

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2002A.0.422.0

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主催: 社団法人精密工学会

曲面・微細形状の超精密加工と計測技術（3）

テーブルトップ超精密4軸加工機の開発

第4報：単結晶ダイヤモンドツールを使用した微細形状加工の試みその2

*上原嘉宏, 大森整, 山形豊, 守安精, 林偉民, 潘燕, 佐々木哲夫, 石川惣一, 浅見宗明, 三浦隆寛

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キーワード: 卓上加工機, ELID研削, マイクロ加工, 光学素子

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抄録

本報では，ELID研削システムを搭載したテーブルトップ型超精密4軸加工機に，付加価値の高い光学素子の開発を目的として，単結晶ダイヤモンドのエンドミルを用いて，BK-7材を対象に3次元形状加工について試みたので報告する．実験は，光学レンズのフランジ形状となる部分の3次元形状や固定·取り付け用の穴または，ボス加工などをターゲットにした切削加工を行った．単結晶ダイヤモンドの先端形状を2種類用意した．実験の結果，本加工機により，形状加工が可能であることが確認できた．

責任著者(Corresponding author)

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