抄録
ファインセラミックスは、高強度、耐摩耗性など優れた性質を持ち、金属材料を用いることのできない雰囲気中での機械構造用部材などに活用されている。しかしながら、同時に高脆性材用であるため、精密な加工を行うことが困難であることが問題となっている。本研究では、ファインセラミックスの研削加工において、加工状況をインプロセスで診断するためダイヤモンド単粒研削実験を行った。診断方法としてAE(アコースティック·エミッション)手法を用いて研削時に発生するAE信号の解析と試験片の観察を行い、信号とクラック、チッピングなどの試験片の損傷発生のメカニズムとの定量的な関連性について検討した。