抄録
ウエーハの研磨では，外周ダレ·オリフラ横の削れと呼ばれる現象があり，いくつかの検討が報告されている．本報告ではこのようなウエーハの研磨形状の推定を目的に，研磨液の効果を考慮したモデル化を試みた．研磨中，ウエーハに作用する圧力は，ウエーハと研磨布との接触圧力と研磨液による流体圧力の和と仮定した．ここで，接触圧力はウエーハが研磨布上を摺動した状態を，研磨布の粘弾性特性を考慮して求めた．また，研磨液の潤滑効果による流体圧力は，研磨布の粗さを考慮し，修正レイノルズ方程式を用いて計算した．これらウエーハに作用する圧力分布を研磨圧力とし，研磨量の式からウエーハ面内の研磨量分布を推定した結果を報告する．
