抄録
半導体，液晶やセンサ等に利用される部材のドライブラストによる微細加工において，長時間の安定した加工特性を持続するためには，噴射条件と微粉噴射材の経時変化を定量的に十分把握する必要がある．本研究では，微細加工を目的としたブラスト加工の完全自動化を目指すために，噴射条件が加工特性に及ぼす影響について実験的に検討するものである．本報では，噴射材質，噴射材の平均粒子径，噴射量および噴射回数がガラス材およびセラミックス材の加工量および回収率に及ぼす影響を実験的に検討したので，その結果について報告する．
