抄録
当研究室では数ナノメートルの形状精度を得る加工法として、微細砥粒と水の混合液を加工液として硬脆材料の表面に高速噴射する「ナノアブレ-ジョン加工」を提案した。しかし、その加工痕の断面形状は形状修正加工に適さないW型であった。そこで、本研究ではナノアブレ-ジョンの特性を生かしつつUV型の断形状をした加工痕を得るために、微細砥粒と水を混合した加工液を圧縮空気により霧状に噴射する「硬脆材料の噴霧式ナノアブレ-ジョン加工」を新提案し、その基本特性と硬脆材料の超精密加工適用への可能性について報告する。
