精密工学会学術講演会講演論文集
2002年度精密工学会秋季大会
セッションID: M49
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光による形状計測(2)
1/fノイズモデルを用いた空間的縞解析法の測定精度の検討
*新井 泰彦大峠 怜也長岡 藤孝横関 俊介
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抄録
フーリェ変換法はエレガントな論理演算に基づく高精度な縞解析法である. しかしながら,ノイズを多数含む縞画像において、なおかつ縞画像が大きく変調されている場合には,ノイズと信号成分との分離が難しいことが知られている.この問題に対して,2002年度春季大会講演会で報告した空間的縞解析法の周波数領域における信号分割技術に基づく大変調縞に対する解析法は、フーリェ変換法に比べてロバストであることを報告した。本研究では本空間的縞解析法に基づく縞解析法の有効性を,1/fノイズに基づくノイズモデルを用いることにより示し、その測定限界を議論している。
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© 2002 公益社団法人 精密工学会
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