高精度ステップゲージ測定機の性能評価（1）

抄録

三次元測定機の精度評価を行なうために使用するゲージの一つにステップゲージがある。産総研 幾何標準研究室では、このゲージを高精度に校正するための専用測定機を開発し、そのプロービングシステムとして、ツイン電気マイクロメータと平行板バネ式プローブヘッドの2つの方式を採用している。三次元測定機は移動装置として用い、測定値はそれぞれのプロービングシステムで異なったレーザ干渉測長で求める。前回は、環境設備の充実を図った結果の報告を行なった。今回の発表では、プローブヘッドと干渉計を同期させた測定による、各プロービングシステムの性能評価と、環境の向上からレーザゆらぎの影響等の結果を報告する。