微小部品形状測定のための小型プローブの開発に関する基礎研究

抄録

本研究では小型座標測定装置の開発を目標とし、その基礎実験を行う．今回の報告においては，微細形状測定プローブの開発について述べる．プローブは検出方向をx-y面内に限定する．本研究で開発する装置は、試料との接触を検出できる微小プローブを，検出面内に微小に円運動させ、接触時の信号を円運動の位相と比較することによって，面内の接触方向を検出するものである．提案する原理の実証用マクロモデルを作成し、予備実験を行うことによって形状の精度評価が可能であることを示す．